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　　應(yīng)力檢測儀的測量方法：

　　1.標準測量

　　標準測量方法采集樣品3個方向的應(yīng)力值（0°60°120°），zui終得出應(yīng)力大小，標準測量方法的測量精度zui高，測量范圍在0~74nm，是日常的檢測的常用方法。

　　特點：測量時間較短，單次測量一般小于30s，結(jié)果中會同時給出樣品應(yīng)力的大小及方向。

　　2.單方向測量

　　在測量時，應(yīng)力檢測儀只采集單一方向應(yīng)力值，即偏振方向是固定的，默認值0°（即為圖像中45°傾斜方向），并且可以自定義偏振角方向，zui后得出在該方向上的應(yīng)力分布。

　　特點：使用單方向測量方法得出測量結(jié)果中可以觀察到光延遲的正/負值，或者可以理解為應(yīng)力是來自樣品自身的張力還是外界造成的壓力。

　　3.多方向測量

　　在多方向測量中，應(yīng)力檢測儀采集的是六個方向的應(yīng)力值（0°,15°,30°,…75°），通過計算得出zui后的應(yīng)力大小。多方向測量方法的測量范圍要大于標準測量方法，在標準測量方法中，當(dāng)光延遲大于74nm時，測試結(jié)果的圖像中會觀察到白線圈出的紅色區(qū)域出現(xiàn)，這時需要使用多方向測量方法進行測量，測量范圍0~295nm。

　　注意：在多方向測量結(jié)果中，并不能地給出測試樣品的應(yīng)力方向，并且會降低測量精度，增加測量時間。